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Réalisation d'un microphone MEMS basé sur une architecture innovante

Département Composants Silicium (LETI)

Laboratoire Composants Micro-Capteurs

01-09-2017

SL-DRT-17-0005

loic.joet@cea.fr

Les microphones MEMS actuels voient leurs performances plafonner alors que le besoin imposé par la reconnaissance vocale et l'annulation de bruit n'est toujours pas couvert. L'électrode fixe, placée en regard de la membrane souple pour réaliser la détection capacitive, constitue la principale limite en perturbant le chemin acoustique. Plusieurs voies permettent de s'affranchir de cette contre-électrode pour améliorer les performances : - le changement de detection : piézo-électricité (Vesper) / piézo-résistivité (CEA-Léti) - l'utilisation de peignes capacitifs interdigités en bord de membrane (Infineon) Une nouvelle architecture brevetée par notre laboratoire permet de conserver la détection capacitive et ses avantages tout en s'affranchissant des bruits qu'elle génère. La thèse consistera à concevoir, fabriquer et tester un premier dispositif selon cette technique.

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